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溅射时间对ZnO/TiO 2 复合薄膜亲水性的影响

发布时间:2022-07-07 09:44
  采用复合靶射频磁控溅射方法制备了ZnO/TiO2复合薄膜,对薄膜500℃退火处理2 h。利用XRD和AFM对薄膜的晶体结构和表面微观形貌进行了表征,分析讨论了不同溅射时间下制备的薄膜的亲水性。结果表明:溅射时间为120 min时制备的薄膜经过退火处理后,具有锐钛矿和金红石混晶结构,而且具备最佳的亲水性和光致亲水性。 

【文章页数】:5 页

【文章目录】:
1 实验部分
    1.1 主要原料与仪器
    1.2 Zn O/Ti O2复合薄膜的制备
    1.3 性能表征
2 结果和讨论
    2.1 薄膜表面形貌
    2.2 薄膜晶体结构
    2.3 Zn O/Ti O2复合薄膜的亲水性分析
        2.3.1 无退火薄膜的亲水性
        2.3.2 退火处理后薄膜的亲水性
        2.3.3 紫外光照射前后Zn O/Ti O2薄膜的亲水性
3 结语


【参考文献】:
期刊论文
[1]稀土元素负载改性TiO2紫外光催化降解林丹[J]. 朱荣淑,田斐,曾胜.  中南大学学报(自然科学版). 2015(03)
[2]O2分压和退火对TiO2/SiO2纳米多层膜结构和光学性能的影响[J]. 张瑞奇,董磊,李德军,刘孟寅.  光电子.激光. 2012(12)
[3]磁控溅射法ZnO-TiO2复合薄膜的制备及性能[J]. 邵红红,都红,王季.  金属热处理. 2012(05)



本文编号:3656193

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