褶皱形貌的NiFe薄膜的磁性研究

发布时间：2022-10-08 20:59

　　随着电子产业的高速发展,对电子器件的材料提出了新的要求,传统的刚性材料在力学性能上的弊端导致其应用出现局限性,因此柔性电子器件迅速成为新型电子器件领域的研究热点。当前,商用的柔性电子器件不仅保留刚性器件的优良性能,同时又具有灵活、轻质、可弯曲、可拉伸的优势,在通讯、医疗、检测等诸多方面有着广阔的应用前景。可穿戴电子器件在穿戴过程中不可避免地承受各种形式的外力,尤其是对拉伸下性能的稳定性有着极大的要求。经过长时间的研究,目前制作可拉伸电子器件的主要方法是在预拉伸的弹性衬底上生长金属薄膜,利用金属薄膜与弹性衬底之间杨氏模量的巨大差异,制备具有大范围周期性褶皱形貌的薄膜,这种褶皱形貌的薄膜在承受外应力时,能够通过褶皱结构的伸缩有效地释放外应力,从而保证薄膜性能的稳定。磁各向异性是磁性材料的重要物理性质之一,在不同类型的磁电器件中,磁性薄膜的磁各向异性都起着重要作用。因此研究具有褶皱形貌的磁性薄膜的磁各向异性非常有必要,但至今仍然缺乏对沉积在双轴预应变的PDMS衬底上的磁性薄膜和器件的表面形貌和磁各向异性的研究。前人的许多研究表明,一维褶皱的表面结构和倾斜生长均能有效地提高薄膜的磁各向异性,进... 

【文章页数】：66 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
ABSTRACT
第一章 绪论
    1.1 柔性电子器件的发展
    1.2 可拉伸电子器件
    1.3 可拉伸磁性薄膜器件
    1.4 本论文的主要研究内容
第二章 论文研究的理论基础
    2.1 磁性材料的静态磁性
    2.2 磁性材料的磁各向异性
    2.3 磁性材料磁各向异性的分类
    2.4 磁性薄膜高频性能
第三章 薄膜的制备方法与表征
    3.1 超高真空磁控溅射系统
    3.2 X射线反射
    3.3 原子力显微镜
    3.4 振动样品磁强计
    3.5 磁谱测量系统
        3.5.1 矢量网络分析仪
        3.5.2 磁谱的测量方法
第四章 周期性结构的Ni Fe薄膜的表面形貌和磁各向异性研究
    4.1 引言
    4.2 褶皱结构的NiFe薄膜样品制备方法
        4.2.1 PDMS衬底准备
        4.2.2 褶皱结构的NiFe薄膜的制备流程
    4.3 NiFe薄膜表面形貌的研究
        4.3.1 一维褶皱结构的NiFe薄膜形貌研究
        4.3.2 二维褶皱结构的NiFe薄膜形貌研究
    4.4 褶皱形貌的NiFe薄膜的磁性能研究
        4.4.1 一维褶皱结构的NiFe薄膜的磁各向异性
        4.4.2 二维褶皱结构的NiFe薄膜的磁各向异性
    4.5 磁各向异性的产生机理-表面磁荷机制
    4.6 本章小结
第五章 倾斜生长的NiFe薄膜的表面形貌、磁各向异性和高频性能研究
    5.1 引言
    5.2 倾斜生长的褶皱结构NiFe薄膜的制备
    5.3 倾斜生长的褶皱结构NiFe薄膜的表面形貌研究
    5.4 倾斜生长的褶皱结构NiFe薄膜磁性能研究
    5.5 倾斜生长的褶皱结构NiFe薄膜的高频性能研究
    5.6 本章小结
第六章 总结与展望
    论文总结
    工作展望
参考文献
致谢
作者简历及在学期间所取得的科研成果


【参考文献】：
期刊论文
[1]磁性薄膜微波噪声抑制器研究进展[J]. 汪学锋,钟智勇,陈栖洲,张怀武.  材料导报. 2010(S2)
[2]纳米磁性多层膜的微波电磁特性研究[J]. 冯则坤,邓联文,何华辉.  功能材料. 2004(01)
[3]磁阻感应复合型薄膜磁头[J]. 尹淑珍.  磁记录材料. 1991(02)
[4]连续薄膜型高密度磁记录介质的研究[J]. 杨正.  磁性材料及器件. 1985(02)

博士论文
[1]薄膜变压器与电感器研究[D]. 刘保元.电子科技大学 2007

硕士论文
[1]软磁薄膜的高频磁性测试方法研究及其在坡莫合金薄膜研究中的应用[D]. 魏晋武.兰州大学 2017



本文编号：3688422