退火时间对Bi/Te多层薄膜结构和热电性能的影响

发布时间：2023-01-12 17:06

　　采用磁控溅射法在玻璃衬底上室温沉积厚度不同的Bi/Te多层薄膜,在氩气保护下对薄膜在150℃进行不同时间退火处理,研究了退火时间对Bi/Te多层薄膜物相组成、微观形貌、表面粗糙度和热电性能的影响。结果表明:退火过程使Bi、Te原子在相邻单质层界面上产生了强烈的扩散反应,生成以Bi₂Te₃为主相的Bi-Te化合物;随退火时间的延长,薄膜的界面空洞增多,表面粗糙度变大。短时间退火可提高薄膜的热电性能;而随退火时间的延长,量子尺寸效应逐渐显现,薄膜的载流子浓度、迁移率、电导率和Seebeck系数均出现明显的振荡现象,沉积的单质层越厚,振荡周期越大。 

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【文章目录】：
1 实验
    1.1 样品制备
    1.2 样品表征
2 结果与讨论
    2.1 物相分析
    2.2 微观形貌分析
    2.3 热电性能分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]退火时间对铕填充式方钴矿化合物热电性能的影响[J]. 万俊霞,赵雪盈,李小亚,季诚昌,陈立东.  硅酸盐学报. 2009(03)
[2]Bi2Te3基p型赝三元热电材料的热压制备及性能[J]. 吕强,程颖,程艳,胡建民,王景聚,赵洪安,荣剑英.  硅酸盐学报. 2008(05)
[3]Bi-Te基热电材料的研究进展[J]. 马秋花,孙亚光.  稀有金属快报. 2007(06)
[4]块体Bi2Te3基热电材料性能优化及最新进展[J]. 樊希安,杨君友,陈柔刚,朱文,鲍思前.  功能材料. 2005(08)

博士论文
[1]碲化铋基热电薄膜制备及其热电性能研究[D]. 穆武第.国防科学技术大学 2009



本文编号：3730181