重稀土-过渡族三元合金及Co 2 MnSi合金薄膜的制备及特性研究

发布时间：2023-04-01 05:11

　　本论文中主要制备了重稀土-过渡金属(Dy,Tb)FeCo以及Heusler合金Co₂MnSi(CMS)薄膜,研究了不同工艺参数对薄膜的磁及结构特性的影响。主要内容如下:首先,采用FeCo靶与Dy片组合的镶嵌靶,利用直流磁控溅射的方式制备出了具有较好垂直磁各向异性的DyFeCo薄膜。实验分析发现,溅射功率和工作气体流速对DyFeCo薄膜的成分影响明显。改变溅射功率,可以制备出富过渡(TM)和富稀土(RE)两种类型的DyFeCo薄膜。适当的溅射功率和工作气体流速,可以提升DyFeCo薄膜的垂直磁各向异性。与此同时,采用FeCo靶与Tb片组合的镶嵌靶,利用射频磁控溅射的方式成功制备出了具有垂直磁各向异性的非晶TbFeCo薄膜。通过改变溅射功率、Ta缓冲层厚度和磁性层厚度等参数,实现了对TbFeCo薄膜垂直磁各向异性的调节。其次,在常温下利用直流磁控溅射法制备了结构为Si/Ta/Mg O/CMS/Ta的样品,研究了溅射功率对CMS薄膜面内磁特性及结构特性的影响。热磁特性分析发现,当加热温度达到400℃以后,薄膜的饱和磁化强度开始增大,逐渐由弱磁性转变为强磁性。随着加热温度...

【文章页数】：62 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
abstract
第1章 绪论
    1.1 研究背景及意义
    1.2 重稀土-过渡族三元合金薄膜
    1.3 Co基Heusler合金Co₂MnSi
    1.4 本论文的研究内容和章节安排
第2章 薄膜的制备及表征
    2.1 磁控溅射原理
    2.2 薄膜的制备
    2.3 薄膜的表征
第3章 重稀土-过渡金属(Dy,Tb)FeCo薄膜的制备及表征
    3.1 研究背景
    3.2 薄膜的制备
    3.3 实验结果与分析
    3.4 本章小结
第4章 Co₂MnSi合金薄膜的制备及性能研究
    4.1 研究背景
    4.2 薄膜的制备
    4.3 实验结果与分析
    4.4 本章小结
第5章 磁性多层膜的制备及表征
    5.1 研究背景
    5.2 薄膜的制备
    5.3 实验结果与分析
    5.4 本章小结
第6章 总结和展望
    6.1 本论文工作总结
    6.2 进一步工作展望
参考文献
致谢
个人简历、在学期间的学术成果



本文编号：3776501