纳米ZnO/PDMS复合薄膜力敏特性研究

发布时间：2023-04-09 02:28

　　力学敏感单元作为力学传感检测技术的核心单元,力敏传感技术在航空航天、工程设施、医疗、石油开采等生活、生产的各个领域都存在广泛的应用。研究了纳米ZnO/PDMS复合薄膜的制备,以及复合薄膜在加速度计中的应用。以纳米ZnO颗粒为填充粒子,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为聚合物,采用机械共混法制备了纳米ZnO/PDMS复合薄膜,并研究了复合薄膜的制作工艺、微观结构及力敏特性;并循序渐进地设计了复合薄膜在1G加速度内的力敏特性测试。通过测试和计算可得实验中加速度计的灵敏度最大可达到0.484 p F/gn,验证该复合薄膜结构应用到加速度计中的可行性,为基于复合薄膜结构的加速度计力敏效应的验证奠定了理论依据和测试基础。

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【文章目录】：
1 纳米复合薄膜的制备及结构表征
    1.1 纳米复合薄膜的制备
    1.2 纳米Zn O/PDMS复合薄膜形貌特性表征
2 纳米Zn O复合薄膜力敏特性研究
    2.1 复合薄膜的测试方法
    2.2 纳米Zn O复合薄膜力敏特性测试
        2.2.1 电阻对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.2 电容对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.3 阻抗实部对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.4 阻抗虚部对应力以及不同密度和尺寸的敏感
3 纳米Zn O复合薄膜在加速度计中的应用基础研究
    3.1 纳米Zn O敏感检测元件的制作及测试系统的搭建
    3.3 纳米Zn O敏感元件在加速度计上的应用测试
        3.3.1 电阻对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.2 电容对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.3 阻抗实部对应力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.4 阻抗虚部对应力以及不同密度和尺寸的敏感
4 结论



本文编号：3786899