组份对铁电多层膜微结构及物性影响的研究

发布时间：2023-05-03 15:21

　　锆钛酸铅(PbZr_xTi_1-xO₃,PZT)因具有优异的压电、铁电、热释电和介电性能,在动态随机存储器、红外探测器以及可调谐微波器件等方面得到了广泛应用。而它在可见和红外波段的高度透明性,高的折射率和大的电光系数,被认为是制作新一代特性参数动态可调光子器件的理想材料。近年来,随着利用含有聚合物的单一化学溶液,基于相分离原理和静电引力作用,制备周期性铁电多层膜技术的发明,人们不仅制作了多种铁电基光子操控器件,还系统研究了聚合物含量与种类、热处理温度同单一组份的铁电多层膜的微结构和光学性能之间的联系。为进一步优化铁电多层膜的电学和光学性能,促进它们在光子带隙工程领域和集成光电子学方面的应用,本文细致考察了Zr组份对PZT多层膜的形成、微结构及多层膜的铁电、介电和光学性能的影响,主要得到以下一些结果:(1)采用溶胶-凝胶工艺和含有聚合物聚乙烯吡咯烷烔的系列前驱体溶液,在FTO透明导电玻璃衬底上沉积了一系列PZT薄膜。X射线衍射分析表明:所有PZT薄膜均已晶化,表现出<110>择优取向的多晶结构。高分辨的截面扫描电子...

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【学位级别】：硕士

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摘要
Abstract
第1章 绪论
    1.1 铁电体概述
    1.2 PZT薄膜的应用及制备方法
        1.2.1 PZT薄膜的性能及其应用
        1.2.2 PZT薄膜的制备方法
    1.3 PZT薄膜研究现状
    1.4 课题研究意义与内容
第2章 样品的制备及表征
    2.1 实验方法
    2.2 制备工艺流程
    2.3 PZT薄膜微结构表征
    2.4 PZT薄膜性能测试
第3章 组份对锆钛酸铅多层膜微结构及光学特性的研究
    3.1 引言
    3.2 制备铁电多层膜的原理
    3.3 Zr组份对PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜微结构的影响
        3.3.1 Zr组份对PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜结晶特性的影响
        3.3.2 Zr组份对PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜截面结构的影响
    3.4 PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜光学特性随Zr组份的变化
        3.4.1 周期性多层膜光学性能的特征参数
        3.4.2 Zr组份对PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜反射性能的影响
    3.5 本章小结
第4章 组份对锆钛酸铅多层膜电学特性的研究
    4.1 引言
    4.2 PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜介电特性随Zr组份的变化
        4.2.1 实验结果与分析
    4.3 PbZr_xTi_1-xO₃ 多层膜铁电特性随Zr组份的变化
        4.3.1 实验结果与分析
    4.4 本章小结
第5章 结论及展望
    5.1 论文主要工作与结论
    5.2 对今后工作的展望
参考文献
攻读学位期间取得的研究成果
致谢



本文编号：3806959