前驱体温度对激光化学气相沉积YBa 2 Cu 3 O 7-δ 超导薄膜结构及性能的影响

发布时间：2023-11-22 19:36

　　采用激光化学气相沉积法在Al₂O₃基底上以49μm·h^-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa₂Cu₃O_7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响。研究表明,Ba、Cu、Y前驱体加热温度分别为603、478、459 K时制备的薄膜在经813 K高温热处理12 h后,临界温度可达83 K。

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【文章目录】：
1 实 验
2 分析与讨论
3 结 论



本文编号：3866016