Cu/Al 2 O 3 复合薄膜的制备及其抗氧化性能

发布时间：2024-12-11 01:03

　　 本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al₂O₃复合薄膜,利用扫描电镜（SEM）、X射线能谱仪（EDX）和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明:与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比,由于复合薄膜表层Al₂O₃薄膜的结构稳定性和致密性,Cu/Al₂O₃复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下,具有整体结构的稳定性,表现出了良好的抗氧化性能。

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【文章目录】：
1 引言
2 实验部分
    2.1 实验材料和设备
    2.2 样品制备
        2.2.1 预处理
        2.2.2 样品制备
            2.2.2. 1 Cu薄膜的制备
            2.2.2. 2 Cu/Al2O3复合薄膜的制备
    2.3 薄膜的表面形貌、元素含量分析及屏蔽性能测试
3 实验结果与分析
    3.1 Al2O3薄膜的制备
    3.2 Cu/Al2O3复合薄膜的抗氧化性能研究
        3.2.1 Cu薄膜和Cu/Al2O3复合薄膜表面形貌随时间的变化
        3.2.2 Cu薄膜和Cu/Al2O3复合薄膜表面元素含量随时间的变化
        3.2.3 Cu薄膜和Cu/Al2O3复合薄膜屏蔽效能随时间的变化
4 结论



本文编号：4015939