磷酸系刻蚀液对Cu/Mo薄膜刻蚀性能的基础研究

发布时间：2025-01-01 04:49

　　面板制造的阵列工序（Array）在设计过程中,栅极（Gate）层电路和源漏（SD）极层电路根据产品使用要求进行电极材料的选择,这个过程不仅会对电极材料性能如电阻率、电子迁移率等因素进行考量,而且还需在原料成本及制造工艺技术难易程度上进行评价。随着平板显示大尺寸化、高解析度以及驱动频率高速化的趋势和要求,金属铜导线将逐渐取代铝导线成为薄膜晶体管制备过程中电极材料,由于金属铜与下层基板玻璃粘结性差,工艺上一般选择金属钼作为过渡膜层。当前,铜导线主要采用双氧水系刻蚀液进行处理,而双氧水的不稳定及易爆性使其在实际应用过程中存在诸多问题。本文研究了磷酸系刻蚀液对铜的刻蚀性能,磷酸系刻蚀液的主要组成为磷酸、硝酸及醋酸。工作中首先研究了金属铜在单酸、二元混合酸及三元混合酸刻蚀液中的溶出情况,解析了磷酸系刻蚀液不同组份对铜溶出的影响情况。结果发现,金属铜的腐蚀需氧化性及酸性共同作用下才能发生,其中硝酸起主导作用。XPS的分析结果表明,铜在磷酸系刻蚀液的溶出过程中,硝酸主要起氧化作用,将铜氧化为Cu₂O直至CuO,CuO在氢离子的作用下发生溶解反应,而醋酸加入有利于硝酸对铜的氧化,同...

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【部分图文】：

图1-1TFT-LCD构造简图[27]

磷酸系刻蚀液对Cu/Mo薄膜刻蚀性能的基础研究3动频率高速化的趋势和要求，各面板厂商不得不面对阵列系统中电阻及电阻/电容时间延迟及电子迁移率低等问题。金属铜导线相对于铝有更低的电阻率以及更好的抗电迁移能力[17-19]，将逐渐取代铝导线。由于金属铜和玻璃基板及栅极绝缘层(如SiO....

图1-2TFT-LCD显示原理[28]

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图1-3光刻工艺流程[31]

子的扭转，将来自背光源的光调制产生不同的色彩、亮度等显示效果，从而显示不同图像[30]。（2）液晶显示器制造工艺薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）的制造工艺流程可以分为四个子工艺流程进行，它们分别是：阵列工程（Array）、彩色滤光器工程（Colorfilter）、液晶灌注（....

图1-4彩色滤光器组件结构图[32]

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本文编号：4022059