激光辐照对Ag/AZO双层复合透明导电薄膜性能的影响

发布时间：2025-02-11 14:06

　　 通过磁控溅射在掺铝氧化锌（AZO）透明导电玻璃表面沉积了10 nm厚的Ag层,得到Ag/AZO双层复合透明导电薄膜,然后利用532纳秒脉冲激光器对其进行辐照处理。考察了激光能量密度对薄膜形貌、结构及综合光电性能的影响。考察了激光辐照处理后Ag/AZO双层复合透明导电薄膜的方块电阻、透光率、反射率及品质因子,并通过扫描电镜和X射线衍射仪分析了它们的表面形貌和晶体结构。结果表明,当激光能量密度为0.6 J/cm²时,薄膜的方块电阻为9.26Ω,在400～800 nm波段的平均透光率为88.38%,平均反射率为11.69%,品质因子为3.14×10^-2 Ω^-1,表现出最优的综合光电性能。

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【文章目录】：
1 实验
    1.1 基材与设备
    1.2 试样的制备
    1.3 表征与性能测试
2 结果与讨论
    2.1 光学性能──透光率
    2.2 电学性能──方块电阻
    2.3 光学性能──反射率
    2.4 综合光电性能──品质因子
    2.5 表面形貌
    2.6 XRD分析
3 结论



本文编号：4033377