直方图法在薄膜厚度测量上的适用性研究

发布时间：2017-06-05 02:08

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【摘要】：薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度,是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析,发现直方图法能够有效避免人为因素的影响,适用于10nm以上的薄膜厚度的测量,是目前最适于定为薄膜厚度测试标准的方法。
【作者单位】： 中国建筑材料科学研究总院;绿色建筑材料国家重点实验室;
【关键词】： 薄膜厚度 台阶高度 直方图 触针式轮廓仪
【基金】：国家自然基金资助项目(Nos.50972136,51272245)的资助
【分类号】：TB302;TB383.2
【正文快照】： 触针式轮廓仪具有测量简单、精度高、测量范围宽、厚度图像可以直接观察等特点。可以测量在大气状态下性能稳定、在衬底上有一定硬度的各种薄膜,如金属、氧化物、碳化物、氮化物等[1]。其工作原理如图1所示,利用一定直径的触针扫描被测样品的表面,同时记录触针在样品垂直方向

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本文编号：422665