MPCVD制备大面积自支撑金刚石膜研究进展

发布时间：2017-06-08 17:07

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【摘要】：金刚石膜因其优异的物理化学性质备受关注,而大面积自支撑金刚石膜因其结构完整性在各大领域的应用范围更胜一筹。综述了大面积自支撑金刚石膜的、研究进展和影响其沉积均匀性和沉积速率的因素。表明微波频率越高,沉积速率越快;而气体流速对沉积速率的影响呈现先增大后减少的趋势;基片台的设计对金刚石的均匀性至关重要;辅助气体对金刚石膜的影响与添加的气体种类有关,微量N_2、O_2的加入可以提高沉积速率。最后对大面积自支撑金刚石在红外窗口的应用进行展望。
【作者单位】： 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;
【关键词】： 金刚石膜 大面积 自支撑 均匀性 沉积速率
【基金】：国家自然科学基金(No.11175137) 武汉工程大学教育创新基金(No.CX2015025)
【分类号】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言金刚石膜拥有众多优异的性质,比如硬度高、化学稳定性好、热导率高、从真空紫外到远红外都有的高透光率等,因此在各大领域都有着广泛的应用[1-4]。而大面积自支撑金刚石膜由于其结构完整性,应用范围相比普通金刚石膜更广,在电子热管理、光学窗口、高功率微波窗口等方面的

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本文编号：433162