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半导体薄膜研究型实验教学的探索与实践

发布时间:2017-06-11 12:06

  本文关键词:半导体薄膜研究型实验教学的探索与实践,由笔耕文化传播整理发布。


【摘要】:研究型实验教学是培养学生创新意识和创新能力的重要环节,论文以ITO薄膜为例,围绕ITO薄膜光电学性能,介绍了半导体薄膜研究型实验教学的内容和实施方法,激发了学生的科学研究兴趣,探讨了研究型实验教学对培养学生创新思维和科研能力所起的作用。
【作者单位】: 清华大学材料学院;
【关键词】半导体薄膜 研究型实验教学 创新能力
【基金】:北京市共建项目专项资助(20150101) 清华大学实践教学教改研究项目(ZY01-2)
【分类号】:TB383.2-4;G642.423
【正文快照】: 0引言随着薄膜科学与技术的飞速发展,薄膜已成为微电子学、光电子学、磁电子学、材料表面改性、传感器、太阳能利用、液晶显示技术等新兴交叉科学的重要材料基础,并广泛应用于当代科学技术的各个领域,特别是高新技术领域[1-2]。各种具有优异性能的新型薄膜材料的研制,以及高超

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

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2 吴晓飞;郗雨林;;ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究[J];热加工工艺;2013年02期

3 董科研;周明;王静静;吴小麟;高传玉;;ITO薄膜的制备以及性能的研究[J];功能材料;2011年S2期

4 成立顺;孙本双;钟景明;何力军;王东新;陈焕铭;;ITO透明导电薄膜的研究进展[J];稀有金属快报;2008年03期

5 夏冬林;杨晟;王树林;赵修建;;直流磁控溅射陶瓷靶制备ITO薄膜及性能研究[J];人工晶体学报;2006年02期

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中国硕士学位论文全文数据库 前3条

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2 赵景训;ITO薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2010年

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【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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4 史晓慧;许珂敬;西金涛;张迎迎;王永强;;基于掺杂的透明导电氧化锡基薄膜电学性能研究[J];山东理工大学学报(自然科学版);2016年04期

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中国硕士学位论文全文数据库 前4条

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【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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9 刘瑞江;张业旺;闻崇炜;汤建;;正交试验设计和分析方法研究[J];实验技术与管理;2010年09期

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【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 李智利;高师仪器分析开设研究型实验的探索与实践[D];湖南师范大学;2004年


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本文编号:441544

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