流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

发布时间：2017-07-13 13:14

  本文关键词：流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

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【摘要】：流化床-化学气相沉积(FB-CVD)技术是一种多学科交叉的材料制备技术,兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点,在工业生产中有着广泛的应用,但因其属于交叉学科,散见于各种研究,没有进行专门的进展评述。本文拟对FB-CVD的工业应用进行专题综述,分析其发展和研究趋势。首先探讨了FB-CVD的基本原理,分别综述了其在颗粒包覆、一维纳米材料、多晶硅制备、颗粒表面改性及粉体制备等方面的应用,介绍了FB-CVD的过程模拟及反应器结构优化方面的研究进展。通过以上讨论,梳理了FB-CVD研究的科学内涵。可以看出,该过程具有明显的多尺度特征,即材料制备的微观层次、颗粒流化均匀性的介观层次以及反应器结构设计的宏观尺度。总结得出:FB-CVD技术的未来发展取决于3个尺度的耦合分析,其研究重点也应关注尺度间的相互影响效应,如材料制备的均相成核、非均相成核和颗粒流化及运动规律的相互耦合等。
【作者单位】： 清华大学核能与新能源技术研究院先进核能技术协同创新中心;
【关键词】： 流化床-化学气相沉积 材料制备 过程分析 多尺度耦合
【基金】：国家自然科学基金(21306097,51302148) 高等学校博士点专项科研基金(20121010010)项目
【分类号】：TB30;TQ051.13
【正文快照】： 流化床-化学气相沉积(fluidized bed-chemicalvapor deposition,FB-CVD)技术属于材料制备理论与化工科学进行学科交叉的典型研究范畴。流化床技术因其传热速度快、混合均匀等特性特别适用于多相共存的反应过程,在化工生产中得到了广泛的应用[1-3]。化学气相沉积是近几十年来发

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