载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响

发布时间：2017-07-20 18:05

  本文关键词：载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响

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【摘要】：采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1~6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05~0.1);在载荷大于6 N时,摩擦系数在0.2~0.27之间.对偶磨斑的光学照片显示,在低载下(1~6 N),磨斑上存在明显的转移膜,转移膜导致膜层具有低摩擦系数;在高载下,磨合期磨斑上存在稳定的转移膜,对应于磨合期的低摩擦系数.然而在磨合期后,磨斑表面转移膜消失,结果导致高摩擦系数.
【作者单位】： 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室;中国科学院中科院大学;
【关键词】： 摩擦系数 类金刚石 载荷 Raman XPS
【基金】：甘肃省自然科学基金(145RJDA329)资助~~
【分类号】：TH117;TB383.2
【正文快照】： 众所周知,类金刚石薄膜的摩擦学行为与周围环境有关.诸如在不同环境下,类金刚石薄膜的摩擦系数在0.002至1.2之间变化[1 3].然而,通过掺杂的方法可以降低类金刚石薄膜的环境敏感性,例如,Si掺杂的类金刚石薄膜在大气和水环境下具有相同的摩擦系数(0.1)[4].F和Si共掺杂的类金刚

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本文编号：569277