类金刚石薄膜残余应力的研究进展

发布时间：2017-08-14 05:26

  本文关键词：类金刚石薄膜残余应力的研究进展

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【摘要】：类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进展进行综述。使用有限元分析法模拟薄膜的残余应力可为类金刚石薄膜的制备和工艺设计提供参考。
【作者单位】： 河南工业大学化学化工学院;
【关键词】： DLC薄膜 残余应力 有限元分析法
【基金】：河南省教育厅自然科学项目(15A430004)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜具有很多接近金刚石膜的优异性能,如硬度高(最高可达70~110GPa)、摩擦系数低(0.1)、电阻率高(1012~1016Ω·cm)、热导率高以及化学稳定性好、耐高温、耐腐蚀[1,2]。除此之外,DLC薄膜与金刚石薄膜相比沉积温度低、沉积面积大、膜光

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本文编号：671019