基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置

发布时间：2017-08-23 13:49

  本文关键词：基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置

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【摘要】：在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性.
【作者单位】： 华中科技大学机械科学与工程学院数字制造装备与技术国家重点实验室;
【关键词】： 光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度
【基金】：国家自然科学基金(51475191和51405172) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160002) 中国博士后科学基金(2014M560607和2015T80791) 教育部长江学者创新团队(IRT13017)~~
【分类号】：O433.1;TB383.1
【正文快照】： PACS:42.25.Fx,06.20.Dk引言纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术,即特征尺寸在100 nm以内的制造技术.为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程

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本文编号：725406