CrN和CrSiN薄膜在不同介质下的摩擦学性能

发布时间：2017-08-29 22:27

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【摘要】：采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅P(111)和不锈钢(304SS)基材上制备CrN和CrSiN薄膜;利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察2种薄膜在不同介质(空气、去离子水、质量分数3.5%NaCl溶液)中和WC/Co球对摩的摩擦学性能。结果表明:大气环境下,CrN与CrSiN薄膜的磨损机制主要是磨粒磨损;水润滑下,CrN薄膜主要因机械抛光作用,CrSiN薄膜主要因摩擦化学反应,使得摩擦因数减小;在3.5%NaCl溶液中CrN薄膜易被腐蚀,由于NaCl颗粒析出以及涂层接触区域的腐蚀和磨损产物,作为第三体的润滑作用,导致摩擦磨损发生明显变化,而CrSiN薄膜不易被腐蚀,主要因摩擦化学反应,使得摩擦磨损性能发生显著变化。
【作者单位】： 上海航天设备制造总厂;中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室;中国科学院兰州物理化学研究所;
【关键词】： CrN薄膜 CrSiN薄膜 摩擦磨损 磁控溅射
【基金】：国防基础科研重点项目(A0320132009)
【分类号】：TB306
【正文快照】： 材料的摩擦磨损性能不仅取决于本身的组织和性能,也与所处的工作环境密切相关[1-2]。在许多应用领域,表面涂敷硬质薄膜的零件可能长时间或频繁地浸泡、暴露于有腐蚀性介质的工作环境中(例如含Cl-的腐蚀环境中),磨损往往与腐蚀并存,发生腐蚀磨损[3-4],因此,人们期望薄膜能够对

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本文编号：755778