化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

发布时间：2017-09-23 23:00

  本文关键词：化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

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【摘要】：纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一。详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长。
【作者单位】： 唐山学院环境与化学工程系;唐山市微纳米材料制备及应用重点实验室;中国科学院过程工程研究所中国科学院绿色过程与工程重点实验室;低碳清洁能源研究所;中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室;
【关键词】： 纳微结构氧化锌 化学气相沉积 局部气氛 数值模拟
【基金】：国家自然科学基金(20976182) 唐山市科技计划项目(14130283a) 唐山学院博士创新基金项目(tsxybc201404)
【分类号】：TB383.1;TQ132.41
【正文快照】： 0引言ZnO是一种优良的半导体材料,具有特殊的光电、压电、焦热电和热传导性能,且具有生物适应性和安全性等优点,应用范围广泛。纳微ZnO材料的主要制备方法可分为液相法和气相法两大类。其中液相法包括溶胶凝胶法、热液合成法和电沉积法等。气相法包括化学气相沉积(Chemical va

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本文编号：907927