Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响

发布时间：2017-09-27 04:22

  本文关键词：Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响

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【摘要】：采用无水乙醇新溶剂体系,利用旋涂技术在超薄玻璃基片表面制备Al∶ZnO薄膜层,并研究铝掺杂含量对膜微观结构及光学性能的影响。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光度计对膜层的物相、表面与断面形貌及可见光透过率进行分析。结果表明:无水乙醇溶剂条件下所制的膜层具有典型的六角纤锌矿结构,随着掺杂量增加,膜层择优取向度先增加后减小,当铝掺杂量为3%时,择优取向度最高。且在3%掺杂条件下,膜层样品表面平坦,界面结合牢,结构致密,孔隙率低。紫外-可见光透射光谱研究表明:当掺杂量为3%时,薄膜结晶质量与择优取向度最好,且具有最高的可见光透射率。
【作者单位】： 齐鲁工业大学材料科学与工程学院;齐鲁工业大学玻璃与功能陶瓷加工与测试技术山东省重点实验室;河南科学院河南建筑材料研究设计院有限责任公司;绿色建材重点实验室;
【关键词】： 功能薄膜 旋涂法 掺杂浓度 微观结构
【基金】：山东省青年基金(ZR2016EMQ09) 国家级大学生创新创业训练计划项目(201510431021)
【分类号】：TQ132.41;TB383.2
【正文快照】： (1a.School of Materials Science and Engineering;1b.Shandong Province Key Laboratory of Processingand Testing of Glass and Functional Ceramics,Qilu University of Technology,Jinan 250353,China;2.Key lab of Green Building Materials,Henan Building Materials

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：927597