TiN涂层的制备及其性能研究

发布时间：2017-10-01 12:19

  本文关键词：TiN涂层的制备及其性能研究

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【摘要】：本文通过射频磁控溅射沉积的方法,采用Ti N靶材在基体上制备了氮化钛涂层,并利用扫描电镜、能谱分析仪、划痕仪、超景深显微镜,对制备的氮化钛涂层的宏观、微观形貌及力学性能进行了检测。研究表明,基体表面形成界面结合良好,镀层十分致密,无孔隙和裂纹等缺陷,实验最佳溅射功率为97.5W。
【作者单位】： 新乡学院机电工程学院;
【关键词】： TiN涂层 磁控溅射 微观组织
【基金】：河南省高等学校青年骨干教师培养计划(2013GGJS-221)
【分类号】：TB306
【正文快照】： 法拉第在1853年做气体放电实验时,首次发现有金属沉积在放电管玻璃内壁上的现象[1]。磁控溅射采用在靶面上加跑道磁场来控制电子的运动,延长其在靶面周围的行程,以提高等离子体的密度,是物理气相沉积(PVD)的一种。因此,溅射镀膜的速率得到了极大提升[2]。近年来,磁控溅射技术

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6 张龙;朱健;吴t，

本文编号：953422