溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜

发布时间：2017-10-06 08:11

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【摘要】：采用酸催化溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜。运用XRD、SEM等分析测试手段对比了酸催化、回流和陈化三种不同凝胶化工艺对薄膜的相组成和显微形貌的影响。通过粘度-时间曲线观察了溶胶的稳定性并通过FT-IR研究了溶胶水解缩聚的过程。实验结果表明:相比酸催化和回流工艺,采用HNO_3调节pH值至1时,可以有效缓解正硅酸乙酯的快速水解缩聚,制备出均匀稳定的硅酸锆溶胶,经提拉镀膜、900℃煅烧0.5 h得到致密光滑的硅酸锆薄膜,能够有效防止NaOH强碱溶液对单晶硅片基底的腐蚀。
【作者单位】： 景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院;国家日用及建筑陶瓷工程中心;
【关键词】： 薄膜 硅酸锆 溶胶-凝胶法 pH值 抗腐蚀性
【基金】：国家自然科学基金(51362014,51402135) 江西省科技厅青年科学基金(20142BAB216006) 江西省优秀科技创新团队建设计划项目(20133BCB24010) 江西省教育厅基金(GJJ150887,GJJ150919)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言冶金窑炉的防护中具有广阔的应用前景[4,5]。硅酸锆(Zr Si O4)是一种高熔点、低热膨胀系数、低热导　　近年来,无机薄膜材料由于在光电热等方面具率、高机械强度、高介电常数、耐腐蚀的材料,因有优异的特性,因此在半导体,光电等众多领域获此被广泛用于耐火材料[4]、高温

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本文编号：981669