飞秒激光加工最新研究进展

发布时间：2017-10-11 20:11

  本文关键词：飞秒激光加工最新研究进展

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【摘要】：飞秒激光作为一种先进的加工技术,以其“冷加工”、多光子非线性效应、突破衍射极限等特质可实现对任意材料由微纳到宏观尺度复杂三维零件的精密加工,在微纳和精密机械、微纳电子、微纳光学、表面工程、生物医学等领域展露了巨大的市场应用前景。文章重点针对近三年来飞秒激光刻蚀、切割、制孔、功能表面制备、体内加工和聚合加工的研究进展进行综述,并探讨了飞秒激光在与材料相互作用机制、加工精度、加工方式、加工对象等方面面临的机遇和挑战。
【作者单位】： 北京工业大学激光工程研究院;河北工程大学理学院;
【关键词】： 飞秒激光 精密加工 刻蚀 功能表面 双光子吸收
【分类号】：TN24
【正文快照】： 0前言*飞秒激光与材料作用时,一方面由于脉冲持续时间远小于材料内部受激电子的弛豫时间,从根本上抑制热扩散,实现相对意义上的“冷加工”[1-2],大大提高加工精度[3];另一方面,极短的脉宽产生超高光强,可诱导电介质材料多光子非线性吸收,增强空间分辨的同时突破衍射极限[4],实

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本文编号：1014497