红外焦平面低温形变测试方法及其误差分析

发布时间：2017-10-17 22:35

  本文关键词：红外焦平面低温形变测试方法及其误差分析

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【摘要】：在研制制冷型红外探测器组件的过程中,降低功能模块的热应力是设计及制造的核心目标之一,这要求首先能够对焦平面模块的热应力进行测量表征,工程上一般通过形变等间接量来表征碲镉汞的热应力。基于此研究了激光干涉法测量制冷型红外焦平面探测器的表面形变并对其误差进行了分析,该方法克服了常规的台阶仪测量方法所固有的温度控制不够理想、测试过程中样品表面有结霜等困难,它利用相干光在标准镜上干涉形成的干涉图样来反映样品表面的形变。试验表明:该方法可以进行实时变温的表面形变测量,为制冷型红外焦平面组件的封装设计提供可靠的形变测试数据,实现了焦平面模块在封装杜瓦内的表面形变的低温在线测量。
【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室;中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;
【关键词】： 低温形变 热应力 激光干涉法 误差分析 红外探测器
【分类号】：TN215
【正文快照】： 0引言制冷型红外探测器组件一般工作在低温状态下,其工作温度常常在100 K甚至更低,由于它是由各种不同的材料构成,这些材料的热膨胀系数各不相同,组件在室温与工作温度之间变化时必然会产生热应力,热应力是目前影响红外探测器可靠性的主要问题之一,它能导致红外探测器的多种模

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本文编号：1051430