基于数值模拟的太阳能直拉硅单晶热场降耗研究

发布时间：2017-10-20 17:10

  本文关键词：基于数值模拟的太阳能直拉硅单晶热场降耗研究

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【摘要】：通过计算机数值模拟仿真技术分析了TDR-95A-ZJS型22英寸太阳能直拉硅单晶热场结构中影响能耗的主要因素。基于模拟结果提出了通过改变部分热场结构及保温毡布局等优化措施可有效降低原有热场功耗。实际生产实验表明,优化后的热场在保证晶体生长原有质量前提下较原有热场节能29%。
【作者单位】： 上海大学;
【关键词】： 数值模拟 直拉硅单晶 热场 功耗
【基金】：上海高校特聘教授(东方学者)岗位支持计划
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 自进入21世纪以来随着半导体和光伏产业的飞速发展,对单晶硅片的需求量日益增加。目前直拉法(Czochralski法)是生产单晶硅常用的方法之一,其显著优势是可生产出高质量、大直径的半导体级或太阳能级单晶硅片,主要用来制作LSI、晶体管、传感器等半导体器件及硅基高效太阳能电池[

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本文编号：1068348