高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究

发布时间：2017-10-20 19:26

  本文关键词：高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究

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【摘要】：根据极大规模集成电路制造对光刻物镜中敏感光学元件调节机构高精度的调整要求,研究设计了一套基于双频激光干涉仪的高精度六自由度位姿检测测量系统。但由于双频激光干涉仪是一种线性增量式的测长仪器,其固有的机械安装误差及运动平台在工作过程中引入的倾斜或旋转运动都将导致测量光程的变化而产生阿贝误差与余弦误差。为此,根据系统测量原理,采用解析法基于空间齐次变换建立了系统误差补偿数学模型,并深入分析了装调误差对测量精度的影响,实现了调节机构六自由度运动的高精度测量。
【作者单位】： 长沙湘计海盾科技有限公司;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【关键词】： 双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换
【基金】：国家重大科技专项02专题(2009ZX02205)资助项目
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言随着集成电路特征线宽的不断减小,极大规模集成电路制造所需光刻物镜的精度要求越来越高[1]。在投影光刻物镜的装调及使用过程中,为了获得良好的光学性能,消除物镜内部环境变化对成像质量的影响,需要对光学系统的各种像差进行补偿[2-3]。常用的补偿方法是调整光学系统中

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1 ;不用预热的双频激光干涉仪[J];激光与光电子学进展;1971年04期

2 冯其波，梁晋文，田芊;双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制[J];仪器仪表学报;1995年02期

3 张汝鹏,吕晓明,赵转萍;空间运动目标激光跟踪测量系统建模研究[J];实用测试技术;2000年06期

4 ;[J];;年期

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1 刘洪霞;赵洪涛;;利用双频激光干涉仪配合修理、校准绘图机[A];2010航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年

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本文编号：1068915