激光聚焦线扫描法测量KDP晶体坯片的体缺陷

发布时间：2017-10-23 11:10

  本文关键词：激光聚焦线扫描法测量KDP晶体坯片的体缺陷

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【摘要】：为了快速准确测量磷酸二氢钾(KDP)晶体坯片的体缺陷,提出了高速激光聚焦线扫描散射成像方法,并建立了相应的测量系统。研究了该系统的测量原理和图像采集、图像处理和体缺陷信息提取方法。基于激光散射技术,结合高速运动装置对晶体坯片内部进行三维扫描,用线阵CCD探测器接收气泡、包裹物等体缺陷产生的散射光。然后利用折射率匹配液消除粗糙表面带来的不利影响。最后结合数字图像处理技术,对采集的图像进行实时处理。通过去除背景后与设定阈值比较得到具有体缺陷特征的图像,再对其进行二值化处理,提取得到体缺陷的位置和尺寸信息。利用该检测装置对KDP晶体坯片体缺陷进行了测量,结果显示其检测分辨率优于40μm,能够为晶体坯片的精确切割和最大程度的利用提供依据,从而节省了大量成本。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室;合肥知常光电科技有限公司;
【关键词】： 磷酸二氢钾(KDP)晶体 晶体坯片 体缺陷 激光聚焦线扫描 散射测量
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.11602280)
【分类号】：O77;TN249
【正文快照】： 1引言随着大型高功率激光系统输出的激光能量越来越大,对光学元件生产加工质量的要求也越来越高。其使用的精密光学元件需要有更高的抗损伤能力和更长的寿命[1-2]。然而,光学元件内部存在气泡、铂金颗粒和其它包裹物等体缺陷,一方面,体缺陷会产生正透镜或负透镜的效果,对入射

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7 吴福田，，冯书文;激光聚焦非球面透镜设计[J];激光与红外;1994年01期

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本文编号：1083087