电子显微分析仪器稳定运行的环境因素分析与对策

发布时间：2017-11-02 05:09

  本文关键词：电子显微分析仪器稳定运行的环境因素分析与对策

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【摘要】：从实验室的选址和布局、实验室周边环境等方面对影响电子显微分析仪器稳定运行的环境因素进行了分析,并提出了相应的解决措施。结果表明:机械振动、环境磁场和接地电阻是影响电子显微分析仪器分辨率的重要因素;对于机械振动,可采取独立防振地基来起到隔振作用,振幅减小40%以上;对于磁场干扰,采取低磁阻屏蔽层来屏蔽外界磁场,可使实验室磁场强度下降33%以上;对于接地方案,选用垂直接地体为主、辅以水平接地体的复合组网方式,接地电阻达到0.798Ω;经过以上方案,可使实验室的机械振动、环境磁场强度和接地电阻均符合电子显微分析仪器安装要求。
【作者单位】： 山西太钢不锈钢股份公司技术中心;
【关键词】： 电子显微分析仪器 防振 防磁 配电 接地
【分类号】：TN16
【正文快照】： 电子显微分析仪器[1-3]作为一种实验室分析仪器设备,是集数字电路、模拟电路、电子光学系统、真空系统及计算机控制系统等技术于一体的精密仪器,如扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、扫描俄歇微探针(AES)、X射线光电子能谱仪(XPS)等,这类仪器设备对实验室的环境建设要求较高,在实

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本文编号：1130098