基于分枝搜索的带缓冲集束型设备调度与性能分析

发布时间：2017-11-04 10:22

  本文关键词：基于分枝搜索的带缓冲集束型设备调度与性能分析

  更多相关文章： 集束型设备 缓冲模块 驻留约束 调度 分枝搜索

【摘要】：针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真实验和分析,结果表明本文提出的算法是有效且可行的,同时还表明了带缓冲模块的集束型设备在一定程度上能提高集束型设备的产能.
【作者单位】： 同济大学机械与能源工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(61273035,71471135)资助~~
【分类号】：TN305;TP301.6
【正文快照】： 集束型设备已被广泛地应用于半导体制造的晶圆加工中[1-2].由于集束型设备加工晶圆时存在多重入流、驻留及资源约束等现象[3],使得集束型设备的调度变得非常复杂.近年来,为了提高设备的产能,集束型设备的结构随着不断改进也出现很多不同的变化,其中一些学者另辟蹊径,希望通过

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