金刚石线锯电解磨削切割多晶硅片的试验研究

发布时间：2017-11-05 11:23

  本文关键词：金刚石线锯电解磨削切割多晶硅片的试验研究

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【摘要】：基于金刚石线锯切割系统,开展了金刚线电解磨削切割多晶硅片试验。结果表明:电解磨削复合加工方法在机械磨削的同时复合了阳极氧化和腐蚀,在硅片表面产生了机械损伤缺陷和电化学腐蚀缺陷。酸制绒时腐蚀反应在两种类型缺陷处顺利进行,形成均匀致密的绒面结构,有效降低硅片表面反射率,有利于后续电池片光电转换效率的提高。
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51175259)
【分类号】：TN305.1
【正文快照】： 固结磨料线切割又称金刚石线锯切割,它利用电镀或树脂结合等方法,将金刚石颗粒附着在钢线基体表面制成金刚石线。加工过程中,固结在钢线上的金刚石颗粒作为切割刃具,随着切割线高速运动,持续进给的工件与切割线之间产生压力进而实现切割[1-2]。相比于游离磨料线切割,金刚石线

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1 张霞;太阳能硅片电解磨削多线切割远程监控关键技术研究[D];南京航空航天大学;2015年

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本文编号：1143995