飞秒激光脉冲数对P型HgCdTe激光打孔成结效果的影响

发布时间：2017-11-08 00:17

  本文关键词：飞秒激光脉冲数对P型HgCdTe激光打孔成结效果的影响

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【摘要】：飞秒激光对p型Hg Cd Te打孔形成PN结.该实验基于1 k Hz低重复频率飞秒激光采用不同脉冲数在p型Hg Cd Te上打孔形成尺寸不同的微孔结构.实验发现脉冲数是影响成结效果的重要参数.激光诱导电流(LBIC)检测表明,随着脉冲数由单个增至10个,微孔侧壁反型层宽度由13.5μm减小到10.5μm.当脉冲数增大至100个时,微孔LBIC信号曲线已严重偏离PN结所对应的正负峰对称线形,意味着结特性趋于失效.对LBIC曲线拟合表明,单脉冲打孔形成的PN结给出最大的载流子扩散长度,约为17μm,而10个脉冲对应的环孔PN结扩散长度则减小为12μm.
【作者单位】： 上海大学理学院物理系;中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室;
【基金】：国家自然基金(61474073)~~
【分类号】：TN249
【正文快照】： PACS:81.65.Cf,78.66.Hf引言Hg Cd Te探测器在红外技术中具有重要地位[1].PN结成结工艺属于该探测器制备中的关键技术.离子刻蚀Hg Cd Te诱导的环孔PN结是重要成结方法之一,而近来研究发现飞秒激光对p型Hg Cd Te打孔也会形成类似结构[2-6].对此人们曾研究了飞秒激光功率、聚焦

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本文编号：1154761