基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法

发布时间：2017-11-21 13:37

  本文关键词：基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法

  更多相关文章： 光电子学 光电检测 激光功率测量 CMOS接口电路 黑硅MEMS热电堆探测器

【摘要】：针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷,提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应,以CO2激光器为被测激光光源,黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量转换原理,热电堆吸收激光辐射的能量转换为自身热力学能,热力学能以电压的形式输入CMOS接口电路。通过TopView2000通用虚拟仪器应用软件采集和处理数据,获得激光功率相关数据。在室温条件下,对MEMS热电堆激光功率检测系统在不同占空比和不同出光时间的CO2激光照射下,进行重复实验。结果表明,在激光输出占空比为30%、总出光时间为150 ms条件下,系统热响应时间为14.92ms,计算出激光功率值为23.01 W,测量相对偏差为0.55%,满足了实际应用中对激光功率高精度、低成本、低功耗、强便携性等的需求。
【作者单位】： 中北大学仪器与电子学院;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(51375463) 山西省自然科学基金(2014011021-5)
【分类号】：TN24;TN215
【正文快照】： 112501-1silicon MEMS thermopile detectorOCIS codes 250.3140;230.0250;230.5160因为具有速度快、精度高、距离远、不受电磁波干扰、持续性强等突出优点,激光技术被广泛应用于军事中,涉及激光武器、激光侦察、激光制导、激光通信等诸多领域[1],激光功率的精确测量成为各种

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 А.Л.叶戈罗夫;iJ达利;;自制n,量高温用的热电堆[J];物理通报;1960年05期

2 林文青;;采用薄膜热电堆的激光能量计[J];应用激光;1988年02期

3 郑国良;略论测温热电堆[J];物理实验;1996年05期

4 王瑞华;采用半导体热电堆的激光体吸收卡计[J];激光;1981年03期

5 ;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库 前3条

1 王华军;雷廷宙;;低温半导体热电堆发电性能的实验研究与数值模拟[A];2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会论文集[C];2004年

2 张华俊;王俊;蒲亮;李洪峻;陈林;刘勇;卢洁;陶文铨;;冷、热端温度对半导体热电堆发电性能的影响[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展（下册）[C];2001年

3 余正;吕任华;;半导体热电堆恒温冷暖箱的研制[A];江苏省制冷学会第四届年会论文集[C];2000年

中国硕士学位论文全文数据库 前6条

1 张强利;红外热电堆滚筒温度探测系统[D];山东科技大学;2004年

2 杨丽娟;热电堆传热过程的数学建模与实践[D];杭州电子科技大学;2015年

3 王会强;微机械热电堆红外传感器在高温测试方面的研究[D];中北大学;2010年

4 李立超;基于线阵热电堆的材料缺陷检测技术研究[D];中北大学;2010年

5 邹令敏;基于MEMS热电堆的表面高温测试技术研究[D];中北大学;2009年

6 陈媛婧;悬浮吸收层的MEMS热电堆红外传感器的结构设计及制备方法研究[D];中北大学;2014年

，

本文编号：1211128