28nm集成电路铜互连弱碱性阻挡层抛光液性能

发布时间：2017-11-25 08:03

  本文关键词：28nm集成电路铜互连弱碱性阻挡层抛光液性能

  更多相关文章： 集成电路(IC) 阻挡层 化学机械平坦化(CMP) 弱碱性抛光液 铜互连

【摘要】：报道了一种用于技术节点为28 nm的集成电路多层铜互连阻挡层化学机械平坦化(CMP)的弱碱性抛光液(pH值为8.5),仅由平均粒径为20 nm的硅溶胶、FA/O多羟多胺螯合剂及非离子表面活性剂组成。实验结果表明,研发的弱碱性阻挡层抛光液对牺牲层SiO2、阻挡层Ta及金属互连线Cu等多种材料具有优异的速率选择性,去除速率一致性大于95%,并在28 nm多层铜布线片阻挡层CMP后具有较高的平坦化性能,分别获得了20 nm以下深度的碟形坑和蚀坑。通过电化学极化曲线测试表明,此弱碱性阻挡层抛光液能有效减少Cu和Ta之间的腐蚀电位差,并避免了铜互连结构Cu和Ta界面处电偶腐蚀的产生,这对提高集成电路芯片可靠性具有重要意义。
【作者单位】： 河北工业大学电子信息工程学院;
【基金】：国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308) 河北省自然科学基金青年基金资助项目(F2015202267) 河北工业大学优秀青年科技创新基金资助项目(2015007)
【分类号】：TN405.97
【正文快照】： 0引言随着集成电路(IC)芯片向微型化、高密度化、高速化、高可靠化和高集成化发展,IC芯片特征尺寸越来越小,铜互连线层数越来越高。为了满足IC铜互连制备工艺中光刻要求的全局及局部纳米级平整度,每层均必须平坦化。而化学机械平坦化(CMP)是目前唯一能够实现全局和局部平坦化

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 孙孟相;谭满清;王鲁峰;;1300nm超辐射发光二极管寿命测试[J];光学学报;2008年10期

2 Laura Peters;;在65nm及以下节点获得良好的互连可靠性[J];集成电路应用;2007年05期

3 黄鑫;宋爱民;段利华;;1053nm超辐射发光二极管量子阱的设计[J];半导体光电;2010年04期

4 宋晓舒;垂直腔面发射激光器制造商强攻1300nm电信业堡垒[J];光机电信息;2002年08期

5 缪彩琴;翁寿松;;研发≤65nm工艺的最新进展[J];集成电路应用;2005年01期

6 袁林;刘博;王邦新;钟志庆;陈涛;戚福弟;周军;;车载式1064nm米氏散射激光雷达的研制[J];中国激光;2010年07期

7 谭满清,茅冬生,陈良惠,李玉璋;ECR plasma CVD法淀积980 nm大功率半导体激光器端面光学膜技术[J];中国激光;1999年09期

8 ;罗门哈斯电子材料公司推出用于90nm低k系列阻挡层研磨液[J];微纳电子技术;2004年11期

9 祝宝升;左洁;;1550nm在长距离数字电视传输系统中的应用[J];中国有线电视;2007年21期

10 王华;孙国超;杨弃;;1550nm光传联网与城乡有线双向改造[J];中国数字电视;2007年07期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 杨天荣;;1064nm长脉冲Nd:YAG激光在人体脱毛的应用[A];第八届西南五省一市烧伤整形学术会议暨贵州省医学会烧伤整形分会2010年学术年会论文汇编[C];2010年

2 文建湘;吴江;徐晓军;文雁平;萧天鹏;;高精度光纤陀螺用1550nm细径保偏光纤的研制[A];全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议论文集[C];2007年

3 任龙喜;尹建;焦守国;;Nd:YAG激光(1064nm)与半导体激光(980nm)对髓核组织生物热效应的对比性研究[A];中国康复医学会第十一次全国颈椎病学术会议论文集[C];2009年

4 尧舜;刘云;王祥鹏;刘云;姚迪;王立军;;13．2W连续输出1540nm波段半导体激光阵列模块[A];第十七届全国激光学术会议论文集[C];2005年

5 王思威;赵振宇;蒋江;张国强;杨朱黎;;40nm超大规模集成电路电源网络IR Drop预估[A];第十五届计算机工程与工艺年会暨第一届微处理器技术论坛论文集（A辑）[C];2011年

6 徐世祥;翟惠;杨旋;吴昆;曾和平;;用连续注入腔内光参量手段实现产生与宽带794nm光脉冲精确同步的1064nm光脉冲[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

7 沈忠伟;王兆华;刘成;魏志义;;基于非共线飞秒光学参量放大的高对比度1053nm超短脉冲激光的产生研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

8 任龙喜;尹建;焦守国;;Nd:YAG激光(1064nm)与半导体激光(980nm)对髓核组织生物热效应的对比性研究[A];第18届中国康协肢残康复学术年会论文选集[C];2009年

9 宋为民;沈静;金宪强;郑涵;许爱娥;;波长1540nm点阵激光治疗凹陷性痤疮疤痕[A];2008年浙江省医学美容暨整形外科学术会议论文汇编[C];2008年

10 张国强;赵振宇;张民选;王思威;刘战涛;;40nm工艺互连线延时优化研究[A];第十五届计算机工程与工艺年会暨第一届微处理器技术论坛论文集（A辑）[C];2011年

中国重要报纸全文数据库 前10条

1 ;台积电正式采用40nm工艺[N];中国电脑教育报;2008年

2 记者 陈功章　通讯员 瞿军业;兰石化8000Nm~(3)/h制氮装置一次开车成功[N];甘肃经济日报;2012年

3 刘洪宇;45nm：英特尔跨越制程分水岭[N];中国计算机报;2007年

4 ;45nm以下铜互连不如碳纳米管[N];中国电脑教育报;2008年

5 ;10nm晶体管[N];中国计算机报;2004年

6 本报记者 熊雯琳;英特尔在移动平台的22nm博弈[N];电脑报;2011年

7 计算机世界实验室 吴挺;45nm处理器挂帅[N];计算机世界;2007年

8 周童;同方首发45nm“液晶电视电脑”[N];计算机世界;2008年

9 余侃;英特尔开启45nm新世界[N];中国电脑教育报;2007年

10 邱洪民;28nm冲击波笔记本显卡新格局[N];电脑报;2011年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 劳燕锋;1310nm垂直腔面发射激光器设计与研制[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年

2 李琼;1470nm半导体介入式激光介导的新型人体轮廓塑形方法的临床研究[D];南方医科大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 朱志强;基于28nm工艺的低功耗触发器设计及优化[D];安徽大学;2015年

2 刘兆腾;低能量1064nm的Q开关Nd:YAG激光治疗532nm激光术后色素沉着的疗效观察研究[D];安徽医科大学;2015年

3 雷o灬，

本文编号：1225292