杂质微粒对薄膜的损伤效应

发布时间：2017-11-28 06:43

  本文关键词：杂质微粒对薄膜的损伤效应

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【摘要】：激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究:首先对损伤形貌进行了观测,在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明:杂质粒子对薄膜产生的各种效应,主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏效应,这三种效应的共同作用效果决定了损伤的特点。这些作用效应与粒子的半径密切相关:当粒子较小时,激光的沉积量较少,引起邻近材料的温升较低,扩散范围较小,主要是熔化破坏;当粒子较大时,激光沉积量较多,会引起邻近光学材料的汽化和电离,形成激光等离子体而造成大的烧蚀坑。
【作者单位】： 河南工程学院电气信息工程学院;四川大学电子信息学院;
【基金】：国家自然科学基金(61403123) 郑州市科技局民生科技进步工程(131PZDGC136)
【分类号】：TB383.2;TN24
【正文快照】： 0引言高功率激光系统中光学元件损伤问题严重限制了输出功率/能量的提升[1],其中薄膜是光学元件中最脆弱的部分[2],因此研究其损伤机理对高阈值薄膜的研制具有很重要的指导意义[3-4]。对此,人们展开了大量的研究工作,并提出很多物理模型,其中杂质微粒诱导薄膜损伤的模型可以成

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本文编号：1233002