单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光

发布时间：2017-12-03 02:16

  本文关键词：单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光

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【摘要】：为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明:当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5~15GPa时,发生固相反应所需活化能约为14.46kJ/mol,反应速率常数约为0.07~0.23μm/min;在摩擦化学反应过程中,SiO_2磨粒与蓝宝石的接触半径为15~21nm,其变形量为6.88~10.22nm.低载荷纳米压痕试验结果表明:忽略压头与SiO_2磨粒的硬度、几何形状等影响因素,单颗SiO_2磨粒上的作用力小于0.7 mN,其微观表面粗糙度R_t=38.19nm及R_a=3.62nm.
【作者单位】： 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室;
【基金】：国家科技支撑计划(2011BAK15B07) 国家自然科学基金项目(50705088) 教育部科学技术研究重点项目(210088) 浙江省科技厅公益性技术应用研究计划项目(2013C31024)资助
【分类号】：TG731;TN312.8
【正文快照】： 高亮度发光二极管(Light-Emitting Diode,LED)已广泛用于节能照明中[1].蓝宝石是常用的LED衬底材料,对其进行超精密加工的方法是以化学机械抛光为主,并使用SiO2、Fe2O3、MgO以及NaOH等磨粒,其中SiO2的加工效率最高[2].这些磨粒均可与Al2O3发生固相反应,分别生成富铝红柱石(Al6

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1 张蓓;赵雪丹;吴平;王建国;宋西平;;镍-钛合金弹性模量的测定[J];理化检验(物理分册);2007年09期

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本文编号：1247097