防潜在死锁的整体式自动物料搬运系统调度方法

发布时间：2017-12-03 17:05

  本文关键词：防潜在死锁的整体式自动物料搬运系统调度方法

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【摘要】：为有效解决300mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统OHT路径的潜在死锁问题,提出了基于图论的死锁检测/解除策略。首先对路径的潜在死锁问题进行描述,通过定义链和共享点等概念,建立图论模型,在论证其发生的充要条件后,指出解除潜在死锁的可行方法。然后以任务完成时间最小为优化目标建立数学模型,通过对OHT运行路径上的节点依次进行死锁检测和解除来确定无死锁调度方案。仿真实验表明:该方法能够有效检测和解除OHT运行路径上的潜在死锁,提高晶圆制造系统运行的稳定性和安全性。
【作者单位】： 同济大学机械与能源工程学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(61273035;71471135)
【分类号】：TN305
【正文快照】： 0引言晶圆制造的复杂流程和整体式轨道布局的耦合特性使得高空穿梭车(Overhead hoisttransporter,OHT)在物料搬运作业中极易引起路径死锁的现象。学界普遍将路径死锁分为直接死锁和潜在死锁(Impending deadlock)两大类,潜在死锁一旦形成必然会在有限步后导致直接死锁,且更加隐

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本文编号：1249392