溶胶-凝胶法制备ZnO及Fe掺杂ZnO薄膜及其表征

发布时间：2017-12-08 00:28

  本文关键词：溶胶-凝胶法制备ZnO及Fe掺杂ZnO薄膜及其表征

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【摘要】：采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备了ZnO和Fe掺杂ZnO薄膜,并通过扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和紫外-可见分光光度计对所制备薄膜的表面形貌、结构和光学性能进行分析。结果表明,2种薄膜均表面光滑,为沿(101)晶面取向的纤锌矿结构;与ZnO薄膜相比,Fe掺杂ZnO薄膜表面更光滑,且晶粒尺寸从58.512nm减小到36.460nm;另外,Fe掺杂后,沿(101)晶面的取向程度减弱,且禁带宽度由3.1eV增大到3.4eV。
【作者单位】： 河北科技大学材料科学与工程学院;
【基金】：河北省教育厅应用基础研究项目(QN20131015)
【分类号】：TN304.25
【正文快照】： 氧化锌(ZnO)是一种宽禁带Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能为60meV,具有优异的光学性能、电学性能、机械性能、化学稳定性及生物相容性,且无毒、易掺杂。因此,ZnO在紫外探测器、太阳能电池、光催化、光发射二极管等方面都有广泛的应用前景[1-2]。目前,ZnO

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本文编号：1264388