PSS侧壁弧度优化及对GaN基LED出光效率的影响

发布时间：2017-12-17 21:08

  本文关键词：PSS侧壁弧度优化及对GaN基LED出光效率的影响

  更多相关文章： 图形化蓝宝石衬底(PSS) 侧壁 氮化镓(GaN) 发光二极管(LED) 出光效率

【摘要】：为进一步提高基于图形化蓝宝石衬底(PSS)技术的氮化镓(GaN)基LED的出光效率,针对PSS微结构的侧壁弧度进行了优化设计。研究实验采用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,通过优化三氟甲烷(CHF3)和三氯化硼(BCl3)气体体积流量比,实现了对微结构侧壁弧度的有效调控。此外,对各种类型GaN基LED芯片的光学特性进行了测试表征,并结合蒙特卡罗光线追迹方法模拟了PSS微结构的侧壁弧度变化对LED轴向、侧面和总出光效率的影响。实验和理论模拟结果表明,微结构的侧壁弧度对LED出光效率有显著影响,当微结构侧壁中心到内接圆锥侧壁中心的距离为(150±10)nm时,LED的出光效率将进一步提高8.9%。
【作者单位】： 中山大学电子与信息工程学院;东莞市中镓半导体科技有限公司;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61327801) 工业和信息化部电子信息产业发展基金资助项目(工业和信息化部财[2013]472号) 广东省自然科学基金资助项目(2015A030312011)
【分类号】：TN312.8
【正文快照】： 0引言虽然发光二极管(LED)早已实现产业化,但距离真正意义上的固态照明尚存在一定差距,主要表现在白光LED亮度偏低且成本昂贵。获得白光LED的主要技术路线是基于GaN基蓝光LED芯片激发黄光荧光粉形成白光,故进一步提高GaN基蓝光LED芯片的出光效率是目前的发展趋势,也是国内外研

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈健;李小丽;李海华;王庆康;;基于正方和六角排列结构光子晶体对发光二极管出光效率的研究[J];物理学报;2009年09期

2 林岳明;张俊兵;曾祥华;;AlGaInP LED出光效率的模拟[J];发光学报;2009年02期

3 殷子豪;王庆康;;光子晶体几何结构设计对LED出光效率影响的研究[J];量子光学学报;2009年04期

4 高永锋;周明;任乃飞;周骏;刘云霞;;基于偶极子点光源模型光子晶体LED出光效率的研究[J];人工晶体学报;2012年03期

5 胡森;刘丹;;关于提高发光二极管出光效率途径的探讨[J];湖北第二师范学院学报;2012年08期

6 包兴臻;梁静秋;梁中翥;田超;秦余欣;王维彪;;AlGaInP-LED微阵列单元侧反射对出光效率的影响[J];液晶与显示;2013年05期

7 陈健;王庆康;李海华;;光子晶体结构参数的随机扰动对光子晶体LED出光效率的研究[J];光学学报;2010年01期

8 魏可嘉;李鸿强;陈弘达;李恩邦;柳智慧;;二维光子晶体提高C波段LED出光效率的研究[J];光谱学与光谱分析;2012年09期

9 邓琛;徐晨;徐丽华;邹德恕;蒋文静;戴天明;李晓波;沈光地;;提高发光二极管出光效率的新方法[J];光电子.激光;2009年05期

10 杜晓晴;钟广明;董向坤;田健;王晓兰;;基于不同衬底材料高出光效率LED芯片研究进展[J];光学技术;2011年05期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 刘荣海;陈鹏;于治国;谢自力;韩平;刘斌;宋雪云;施毅;张荣;郑有;;比较AAO和SiO_2薄膜对InGaN/GaN MQW出光效率的影响[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年

中国重要报纸全文数据库 前2条

1 中国光学光电子行业协会光电器件分会秘书长 彭万华;两类高亮度LED国内增长率均超五成[N];中国电子报;2006年

2 李瑛;LED封装技术综合实力有待提高[N];中国电子报;2008年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 王晓民;利用亚波长纳米微镜表面结构增强GaN基LED出光效率的研究[D];山东大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 陈志伟;基于多孔结构提高LED出光效率的研究[D];华中科技大学;2011年

2 杨振华;微结构对OLED出光效率影响的研究[D];湖北大学;2012年

3 殷子豪;纳米结构光子晶体提高LED出光效率的研究[D];上海交通大学;2009年

4 俞振南;Si衬底GaN基蓝光LED芯片出光效率的研究[D];南昌大学;2007年

5 胡金勇;高出光效率GaN基发光二极管芯片的研究[D];华南理工大学;2014年

6 李晓明;AlGaInP四元LED芯片出光效率影响研究[D];西安电子科技大学;2013年

7 龚三三;高出光效率透明基板的LED封装[D];杭州电子科技大学;2015年

8 魏伟;侧面倾斜与粗糙化提高GaN基LED出光效率的研究[D];长春理工大学;2007年

9 陈鹏;表面处理对硅衬底GaN基LED粗化及出光效率影响的研究[D];南昌大学;2012年

10 王君君;硅衬底GaN光学性能及芯片出光效率的研究[D];南昌大学;2012年

，

本文编号：1301535