基于数字微镜器件改进的罗曼编码

发布时间：2017-12-21 16:39

  本文关键词：基于数字微镜器件改进的罗曼编码　出处：《应用光学》2016年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：全息光刻可通过空间光调制器数字微镜器件(DMD)加载计算全息图构建数字掩膜来实现,罗曼编码是常用的编制计算全息图的方法,它采用透明矩形孔的高度和位置分别编码全息图抽样单元的幅值和相位。通常,DMD再现此类二元全息图需合并多个微镜来表示单个矩形孔,这会大大降低其像素利用率和分辨率。针对这个问题,提出一种改进的罗曼编码,该编码充分利用DMD的二进制脉宽调制特性,采用灰度值编码全息图抽样单元的幅值,将全息图的透过率由二元型转换成灰阶型,从而有效减少单个抽样单元所占用的微镜数。采用MATLAB编程对改进的罗曼编码和博奇编码计算全息图进行模拟再现分析,得到改进的罗曼编码衍射效率约是博奇编码的3倍。以DMD为核心搭建了全息再现实验,得到改进的罗曼编码衍射效率约是博奇编码的2倍。可得出采用改进的罗曼编码可以显著提高衍射效率。
【作者单位】： 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(91023049)
【分类号】：TN305.7;TN761
【正文快照】： 引言光刻技术是引领微电子发展的核心技术之一,一直是人们关注的焦点。全息光刻是近年来迅速发展的一种光刻技术。全息光刻拥有不受像场和分辨率的限制,不会直接作用衬底,无需真空环境,记录速度快等诸多优点[1-2]。空间光调制器DMD具有较高的分辨率、较宽的响应范围以及极快的

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本文编号：1316435