硅基微机械加工技术

发布时间：2017-12-22 03:11

  本文关键词：硅基微机械加工技术　出处：《电子世界》2016年23期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一。这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障。本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究。
【作者单位】： 大庆市实验中学;
【分类号】：TN40
【正文快照】： 大庆市实验中学于周顺泽前言从以往机械加工经验可知,随着待加工机械材料尺寸的降低,其加工难度会发生相应提升。因此,相对于普通的加工技术而言,硅基微机械加工技术的应用难度更高。除此之外,硅基微机械加工技术的应用也是使得加工成品产生高精度、高效性能的主要原因。一、

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本文编号：1318195