退火对金属介质多层膜的界面扩散及抗化学清洗性能的影响

发布时间：2017-12-24 05:39

  本文关键词：退火对金属介质多层膜的界面扩散及抗化学清洗性能的影响　出处：《中国激光》2016年10期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：对金属介质多层膜样品进行不同温度的退火处理。实验发现,当退火温度为350℃时,在样品Au层与SiO_2层的界面处出现过渡层,样品具有很强的抗化学清洗能力。利用透射电子显微镜观测与能谱仪分析发现,过渡层的出现主要是Cr原子从Au层底部扩散到SiO_2层的结果。过渡层可以增强Au层与SiO_2层间的粘附力,阻挡酸溶液的渗入,使得金属介质多层膜的抗化学清洗能力得到增强。
【作者单位】： 中国科学院大学;中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室;中国科学技术大学近代物理系核探测与核电子学国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(61405225,61405219)
【分类号】：TN25;TN24
【正文快照】： 脉冲压缩光栅(PCG)是高功率激光系统中的重要元件之一[1],一般要求其具有高损伤阈值、高衍射效率1003002-1与足够的带宽。多层介质膜光栅(MDG)具有高损伤阈值和高衍射效率[2-3]而成为制备PCG的较佳选择。然而,MDG内部介质层数较多、膜层较厚,导致其内部应力较大。金属介质多层，

本文编号：1327121