利用纳米压痕法研究单晶锗的力学行为

发布时间：2017-12-25 03:06

  本文关键词：利用纳米压痕法研究单晶锗的力学行为　出处：《热加工工艺》2016年16期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 单晶锗 纳米压痕 相变 硬度 弹性模量

【摘要】：利用纳米压痕仪和原子力显微镜对单晶锗(100)晶面进行纳米压痕试验。通过载荷-压深曲线和弹性回复率的变化情况对材料的变形机理以及硬度和弹性模量进行研究。结果表明:单晶锗(100)晶面在不同的压入深度下分别经历了弹性变形、塑性变形和脆性断裂;载荷-压深曲线中出现明显的突进和突退现象,该现象与材料的内部结构发生相变密切相关;单晶锗(100)晶面存在明显的压痕尺寸效应。该材料弹性模量的变化趋势与硬度相一致。
【作者单位】： 昆明理工大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51365021)
【分类号】：TN304.11
【正文快照】： 晶体锗的电子迁移率比硅高,强度比硅好,被广泛应用于红外光学、高频电子、航空、航天等领域[1]。而为了获得纳米级表面处理或微纳米级复杂特性的锗元件,就需要更好地了解单晶锗在纳米尺度下的变形机理和机械特性[2]。纳米压痕技术是一种在纳米尺度上测量材料表面力学性能的常

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本文编号：1331074