微波技术在多晶硅制备过程中应用研究

发布时间：2017-12-27 23:30

  本文关键词：微波技术在多晶硅制备过程中应用研究　出处：《真空电子技术》2016年06期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 微波技术 多晶硅 制备 反应器

【摘要】：多晶硅的制备过程是光伏产业链的重要组成部分,本文在概述微波与材料相互作用机理基础上,以硅材料中多晶硅制备过程为例,提出多晶硅生产中现有方法存在的问题,并对微波技术在多晶硅制备中的应用,以及微波反应器研究进展进行了阐述,最后展望了微波技术在多晶硅制备过程的应用前景。
[Abstract]:The preparation process of polycrystalline silicon is an important part of photovoltaic industry chain, based on the overview of the interaction mechanism between microwave and material, polysilicon silicon material preparation process as an example, the existing method of polysilicon production, and the application of microwave technology in preparation of polysilicon, and the research progress of microwave reaction is discussed, finally discusses the application prospect of microwave technology in the preparation process of polysilicon.
【作者单位】： 昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室;昆明理工大学工程训练中心;昆明冶研新材料股份有限公司;
【分类号】：TN304.12;TN015
【正文快照】： 所谓“微波”,与无线电波、红外线、可见光一样,通常是指频率从3×108到3×1011 Hz的电磁波,即波长在1m到1mm之间的电磁波。根据电磁波在真空中的传播速度c与频率f、波长λ之间的关系:λ=cf(1)可见,微波的频率很高(介于超短波和红外线之间),波长很短;顾名思义称为微波[1]。微

【参考文献】

相关期刊论文 前10条

1 尚小标;陈君若;张伟峰;彭金辉;陈华;郭胜惠;陈冇;;莫来石耐火材料在微波加热中的透波性能研究[J];材料导报;2014年10期

2 雷鹰;李雨;彭金辉;张利波;郭胜惠;;微波选择性加热在矿冶过程中的应用进展[J];材料导报;2011年15期

3 陈杨;陈志刚;陈爱莲;;纳米CeO_2颗粒的制备及其对硅晶片(100)和(111)的抛光性能[J];纳米技术与精密工程;2009年06期

4 于站良;谢克强;马文会;周阳;杨斌;戴永年;;微波场在冶金级硅酸浸提纯过程的应用[J];轻金属;2009年10期

5 张鸣剑;李润源;代红云;;太阳能多晶硅制备新技术研发进展[J];新材料产业;2008年06期

6 郭瑾;李积和;;国内外多晶硅工业现状[J];上海有色金属;2007年01期

7 饶瑞,徐重阳,曾祥斌,王长安,赵伯芳,周雪梅;微波退火法制备多晶硅薄膜的电学特性研究[J];压电与声光;2002年03期

8 饶瑞,徐重阳,孙国才,曾祥斌;微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管[J];压电与声光;2001年04期

9 龚孟濂,蔡少华,杨燕生,周建英,石建新,田峻;掺稀土多孔硅中稀土光学活化的新方法微波热法[J];化学学报;1999年08期

10 朱文玄,吴一平,徐正达,陈建国,徐镜廉,潘晓霞;微波烧结技术及其进展[J];材料科学与工程;1998年02期

【共引文献】

相关期刊论文 前10条

1 蔺t;亢若谷;彭金辉;苏杰;郭胜惠;;微波技术在多晶硅制备过程中应用研究[J];真空电子技术;2016年06期

2 梁宝岩;张旺玺;冯燕翔;;微波热处理铝-锡粉体的物相结构及显微结构研究[J];轻金属;2016年10期

3 宋赞;苏长永;白苗苗;唐红建;;氮化硅锰合金的制备技术[J];钢铁研究;2016年04期

4 杨坤;汤慧萍;王建;李烨;杨保军;陈金妹;石英;;多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究[J];粉末冶金技术;2016年02期

5 于伟华;田新;孙江桥;张春伟;;分析多晶硅装置外排废水的利用[J];化工设计通讯;2016年02期

6 曹宇;武蒙蒙;张瑞妮;米杰;;微波固相法制备ZnFe_2O_4脱硫剂及其脱硫性能研究[J];能源化工;2016年01期

7 黄友光;郑静;潘金花;苏国良;黄国强;;四氯化硅热氢化制备三氯氢硅[J];现代化工;2015年10期

8 郑明春;彭金辉;张世敏;张利波;郭胜惠;周俊文;;微波干燥冶金物料装置研发与应用技术[J];云南冶金;2015年04期

9 赵晨悦;;浅谈万吨级多晶硅工厂罐区的设计[J];山东化工;2015年11期

10 李锁明;王晶;濮玉钦;;白家寨脉石英矿地质特征及研究价值[J];价值工程;2015年13期

【二级参考文献】

相关期刊论文 前10条

1 彭金辉;刘秉国;张利波;周俊文;夏洪应;张泽彪;;高温微波冶金反应器的研究现状及发展趋势[J];中国有色金属学报;2011年10期

2 支晓洁;彭金辉;郭胜惠;孟彬;张利波;陈冇;李军;;透波材料在微波冶金领域的应用进展[J];化工科技;2010年01期

3 胡峥峥;许卫东;刘珩;余松林;;改善混凝土材料透波性能的初步研究[J];兵器材料科学与工程;2009年04期

4 罗大伟;张国梁;张剑;李军;李廷举;;冶金法制备太阳能级硅的原理及研究进展[J];铸造技术;2008年12期

5 马晓东;张剑;吴亚萍;李廷举;;超声场湿法提纯冶金级硅的研究[J];功能材料;2008年07期

6 于站良;马文会;戴永年;杨斌;刘大春;戴卫平;汪金仙;;Removal of iron and aluminum impurities from metallurgical grade-silicon with hydrometallurgical route[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2007年S1期

7 ;Preparation of chain copper oxide nanoparticles by microwave[J];Rare Metals;2007年05期

8 徐云飞;谭毅;姜大川;许富民;;冶金法制备多晶Si杂质去除效果研究[J];特种铸造及有色合金;2007年09期

9 王永光;赵永武;;基于分子量级的化学机械抛光材料去除机理[J];半导体学报;2007年02期

10 李霞章;陈杨;陈志刚;陈建清;倪超英;;纳米CeO_2颗粒的制备及其化学机械抛光性能研究[J];摩擦学学报;2007年01期

【相似文献】

相关期刊论文 前1条

1 宗仁鹤;激光与生物体相互作用机理[J];量子电子学;1990年01期

相关会议论文 前2条

1 宋国强;Edward Hawrot;;α-神经毒素-受体相互作用的2D-NMR研究[A];第七届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];1992年

2 杨林;曹莹;高红丽;陈竞男;;β-桐酸和牛血清白蛋白超分子相互作用机理及热力学研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集（上册）[C];2006年

相关硕士学位论文 前5条

1 方才进;某于团簇碰撞实验的差分真空系统研制以及团簇相互作用机理研究[D];四川师范大学;2015年

2 左利民;CD36跨膜多肽的合成及其跨膜区相互作用机理研究[D];北京化工大学;2011年

3 胡婷婷;跨膜区多肽的合成及相互作用机理的研究[D];北京化工大学;2012年

4 姚凯;功能化氧化石墨烯与蛋白质相互作用机理的研究[D];苏州大学;2013年

5 李宏伟;离子团与固体材料相互作用机理的研究[D];大连理工大学;2004年

，

本文编号：1343667