四象限传感器用于激光跟踪仪光斑偏移量测量

发布时间：2018-01-05 20:34

  本文关键词：四象限传感器用于激光跟踪仪光斑偏移量测量　出处：《哈尔滨工程大学学报》2017年02期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 激光跟踪仪 四象限传感器 光斑偏移量 泰勒级数展开 测量系统

【摘要】：为了保证激光跟踪仪的跟踪速度和跟踪精度,要求发现目标靶镜运动和反映靶镜位移的四象限传感器信号的处理过程具有快速、准确的动态响应。推导出四象限传感器在对角线算法中的输出信号与光斑偏移量之间的关系为超越函数关系。针对超越函数关系不易快速解算的难题,结合激光光斑的特性,采用了泰勒级数展开算法。使用高精度直角坐标测量机对光斑偏移量测量系统进行了验证实验。实验结果表明:该测量系统实时性好,每秒测量次数达到1 050次;测量精度高,在±400μm测量范围内测量精度可达6μm。该系统可以广泛应用于需要微小位移测量的相关领域。
[Abstract]:In order to ensure the tracking speed and tracking accuracy of the laser tracker, it is necessary to find the target mirror motion and the processing process of the four-quadrant sensor signal reflecting the target mirror displacement. The relation between output signal and spot offset of four-quadrant sensor in diagonal algorithm is derived as transcendental function. According to the characteristics of laser spot, the Taylor series expansion algorithm is adopted. The high precision rectangular coordinate measuring machine is used to verify the spot offset measurement system. The experimental results show that the system has good real-time performance. The number of measurements per second was 1,050; The precision of the system is high, and the precision can reach 6 渭 m in the range of 卤400 渭 m. The system can be widely used in the field of small displacement measurement.
【作者单位】： 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ17053904)
【分类号】：TH744.5
【正文快照】： 网络出版地址:http://www.cnki.net/kcms/detail/23.1390.u.20161114.1036.004.html激光跟踪仪是一种高精度的便携式三维坐标测量设备,用于超大空间几何量精密测量和动态轨迹测量[1]。激光跟踪仪的工作原理是在目标点上安置一个靶镜,激光跟踪仪发出的测量光入射到靶镜上,又返

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