皮秒激光微纳加工研究进展

发布时间：2018-01-07 03:23

本文关键词：皮秒激光微纳加工研究进展　出处：《激光与光电子学进展》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：皮秒激光具有皮秒(10~(-12) s)量级的脉冲宽度,与电光弛豫时间(10~(-6)~10~(-12) s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时,由于电子来不及将能量传递给晶格,以至于整个加工过程中几乎没有热作用的存在,被称为"冷烧蚀"过程,因此皮秒激光在航空航天、国防、材料、医学、生物等领域的精密加工中有广泛的用途。简要介绍了研制适用于微纳加工的皮秒激光器的技术路线,综述了皮秒激光在高硬度金属精密制孔、硬脆性材料切割以及材料表面选择性去除方面的研究进展,探讨了目前皮秒激光微纳加工存在的问题,并展望了其可能的发展方向。
[Abstract]:Picosecond laser with picosecond (10~ (-12) s) the magnitude of the pulse width, and electro-optic relaxation time (10~ (-6) ~10~ (-12) s) is equal to or shorter than the relaxation time. The electro-optic picosecond laser and material interaction, not due to electronic energy transfer to the lattice, almost no thermal effect exists that the whole process is called "cold ablation" process, so the picosecond laser in the aerospace, defense, medical materials, and is widely used in precision machining of biological and other fields. Briefly introduced technology applied to the development of picosecond laser micro nano processing, summarizes the picosecond laser in high hardness metal precision drilling, cutting hard brittle materials and the research progress of selective surface material removal, discusses the picosecond laser micro nano processing problems, and put forward the possible direction of development.

【作者单位】：中国科学院理化技术研究所空间功热转换技术重点实验室;
【基金】：国家863计划(2011AA12A103)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 20世纪50年代末,Feynman就预言了制造技术将沿着从大到小的途径发展,最终使加工尺度达到微米及纳米量级。传统的微纳加工手段包括光刻技术[1]、电化学微加工技术[2]、微注射成型[3]以及纳米压印技术[4]等,人们已经利用这些加工技术加工出了理想的产品。但是,随着科技的不断进

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