AlN压电薄膜换能器性能的仿真研究

发布时间：2018-01-16 02:26

  本文关键词：AlN压电薄膜换能器性能的仿真研究　出处：《压电与声光》2017年05期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：在压电换能器的制作中,电极对其谐振和反谐振频率、机电耦合系数及品质因数等重要性能有着直接的影响。该文针对AlN压电薄膜复合结构,采用COMSOL Multiphysics有限元软件对电极-AlN-不锈钢结构的三维模型进行了压电-结构耦合分析。基于此模型,通过改变电极厚度、材料及压电层的介电和机械损耗等参数,来研究换能器的性能参数变化,研究结果对后续以不锈钢为基底的压电超声换能器的制作起到了一定的理论指导作用。
[Abstract]:In the fabrication of piezoelectric transducer, the electrode has a direct impact on the resonant and antiresonant frequency, electromechanical coupling coefficient and quality factor, etc. In this paper, AlN piezoelectric thin film composite structure is studied. The piezoelectric structure coupling analysis of electrode AlN- stainless steel structure was carried out by using COMSOL Multiphysics finite element software. By changing the electrode thickness, dielectric and mechanical loss of the material and piezoelectric layer, the change of the performance parameters of the transducer is studied. The results provide theoretical guidance for the fabrication of piezoelectric ultrasonic transducers based on stainless steel.
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51475229)
【分类号】：TN384
【正文快照】： 0引言近年来,随着微机电系统(MEMS)技术的发展,压电薄膜材料被广泛的应用于传感器、执行器及换能器等器件中。AlN作为Ⅲ-Ⅴ族化合物,具有稳定的六方纤锌矿结构[1],这使其在沿(002)晶向(即c方向)受力时能够产生压电效应。AlN压电薄膜虽然压电性相对较低,但其具备化学稳定性好,

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本文编号：1431154