溶液法氧化物薄膜晶体管的印刷制备

发布时间：2018-01-18 03:28

本文关键词：溶液法氧化物薄膜晶体管的印刷制备　出处：《液晶与显示》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：溶液法印刷制备电子器件因具有绿色环保、低成本、流程简单、柔性好和适应性强等优良特性,受到世界各个国家的重视,尤其高性能薄膜晶体管是平板显示和消费电子行业的基石,更成为了研究的热点。本文综述了基于溶液法氧化物薄膜晶体管印刷制备的最新研究进展,详细讨论了印刷氧化物薄膜晶体管结构优化、半导体层材料、电极层材料和绝缘层材料以及相关前驱体选择等,指出了提升器件性能的关键,明确了器件后处理与稳定性的关系。最后,本文总结了氧化物薄膜晶体管在印刷制备和应用过程中存在的问题以及发展前景。
[Abstract]:Due to its advantages of green environmental protection, low cost, simple flow, good flexibility and strong adaptability, solution printing has attracted much attention from all countries in the world. In particular, high performance thin film transistors are the cornerstone of flat panel display and consumer electronics industry, and have become the focus of research. In this paper, the latest research progress of oxide thin film transistor printing based on solution method is reviewed. The structure optimization of printed oxide thin film transistors, semiconductor layer materials, electrode layer materials and insulating layer materials, as well as the selection of related precursors are discussed in detail. The key to improve the performance of the devices is pointed out. The relationship between post-processing and stability is clarified. Finally, the problems and development prospects of oxide thin film transistors in the process of printing, fabrication and application are summarized.
【作者单位】：华南理工大学高分子光电材料与器件研究所发光材料与器件国家重点实验室材料科学与工程学院;
【基金】：国家自然科学基金重大集成项目(No.U1601651) 国家重点基础研究发展规划项目计划(No.2015CB655004) 国家重点研发计划专项项目(No.2016YFB0401504;No.2016YFF0203603) 广东省自然科学基金资助项目(2016A030313459) 广东省科技计划项目(No.2014B090915004;No.2015B090914003;No.2016A040403037;No.2016B090907001;No.2016B090906002) 中央高校基本科研业务费专项资金(No.2015ZP024;No.2015ZZ063)~~
【分类号】：TN321.5
【正文快照】： 据栅极,可分为底栅和顶栅结构;根据源漏极,可1　引　　言分为底接触和顶接触结构。相较其他结构,底栅顶接触制作工艺较简单,故显示TFT器件主要　　21世纪是信息时代,人们生活己经离不开各采用此结构。种信息设备,从而推动了有源矩阵液晶显示器和有机发光二极管显示器为代表的

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