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发布时间：2018-01-27 03:42

  本文关键词： 微纳电子技术 纳米材料 纳米技术应用 微细加工技术 中文核心期刊 微系统 技术论坛 显微技术 微电子领域 功能材料 　出处：《微纳电子技术》2014年10期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：正《微纳电子技术》于2002年创刊(月刊),在短短的几年里,已成为中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备,国际视点。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新材料、纳米测试与显微技术、MEMS与传感器、微细加工技术与设备、纳米技术应用等领域国内外的最新进展,并兼顾微电子领域的最新研究成果。
[Abstract]:In 2002, it was founded in 2002. In a few short years, it has become the core journal of Chinese and the core journal of science and technology of China. And included by many well-known databases at home and abroad. Columns are divided into: technical forums, devices and technologies, materials and structures MEMS and sensors, processing, measurement and equipment. International Viewpoint. The main contents include: nanoelectronics, microsystems and nanosystems, nanoelectronic devices and technologies, nanomaterials and structures, functional materials and new materials, nanometers and microscopes, MEMS and sensors. The latest development of micromachining technology and equipment, nanotechnology application at home and abroad, as well as the latest research results in the field of microelectronics.
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【正文快照】： 《微纳电子技术》于2002年创刊(月刊),在短短的几年里,已成为中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备,国际视点。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、，

本文编号：1467468