准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

发布时间：2018-01-30 15:21

  本文关键词： 光学器件 激光器 电场分布 数值仿真 紧凑型张氏面型电极　出处：《激光技术》2017年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响,并进行了电位和电场分布仿真。结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布;电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因。该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持。
[Abstract]:In order to obtain high pulse energy output of excimer laser, the theory of Zhang's surface electrode is adopted. A compact electrode was designed to generate a large area of uniform electric field, and the electric field distribution on the electrode surface was obtained by numerical simulation with ANSYS software. The calculated results are compared with those of the compact Zhang's surface electrode. The effect of ultraviolet spark preionization structure on electrode discharge is analyzed, and the potential and electric field distribution are simulated. The results show that the existence of preionization plate has a direct effect on the potential and electric field distribution between electrodes. The electric field simulation results explain the reason of the discharge between the top of the preionization plate and the anode, and this study provides more theoretical support for the design of large-area glow discharge electrode.
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所;中国科学技术大学研究生院科学岛分院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61307112)
【分类号】：TN248
【正文快照】： 引言准分子激光器已广泛应用于工业、医疗和科研等领域。液晶平板退火、微细结构加工和表面处理等应用促进了大功率准分子激光器的发展[1]。实现准分子激光高平均功率输出的基本途径有两条:(1)高单脉冲能量运行;(2)高重复频率运行[2]。获得高单脉冲激光输出能量,一方面需要在

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本文编号：1476552