黑硅红外探测器研究进展

发布时间：2018-02-12 05:20

  本文关键词： 探测器 黑硅 红外探测器 超饱和掺杂 光谱响应　出处：《激光与光电子学进展》2016年07期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：黑硅材料具有良好的光学吸收特性,广泛用于太阳能电池和红外探测器的制备中。基于黑硅材料制备的探测器具有光谱响应度大、响应范围宽、响应曲线较为平直等优点,介绍了黑硅红外探测器国内外的研究进展,其中涉及的黑硅制备方法包括飞秒激光辐照、皮秒激光辐照、湿法腐蚀、离子注入结合准分子纳秒激光辐照。讨论了目前黑硅红外探测器制备中存在的问题,包括黑硅在退火过程中吸收率下降严重以及黑硅表面电极制备难、载流子横向输运能力差等问题。对存在的问题进行了分析,总结了当前的解决方法,展望了黑硅红外探测器的发展趋势和应用前景。
[Abstract]:Black silicon materials have good optical absorption properties and are widely used in the preparation of solar cells and infrared detectors. The detectors based on black silicon materials have the advantages of large spectral responsivity, wide response range, flat response curve, etc. The research progress of black silicon infrared detector at home and abroad is introduced. The preparation methods of black silicon include femtosecond laser irradiation, picosecond laser irradiation, wet etching. Ion implantation combined with excimer nanosecond laser irradiation. The problems existing in the fabrication of black silicon infrared detectors are discussed, including the serious decrease in the absorption rate of black silicon during annealing and the difficulty in preparing black silicon surface electrodes. The existing problems are analyzed, the current solutions are summarized, and the development trend and application prospect of black silicon infrared detectors are prospected.
【作者单位】： 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室;
【基金】：国防科工局技术基础“十二五”科研项目(KBA51302580) 中航工业基础院科技创新基金项目(JCY2015A002)
【分类号】：TN215

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 白洪斌;红外探测器在武器系统中的应用[J];航空兵器;2001年03期

2 高;多色红外探测器[J];红外;2001年05期

3 高国龙;美国罗切斯特大学研制出一种极其灵敏和精确的红外探测器[J];红外;2001年12期

4 高;用于监测烷烃的红外探测器[J];红外;2002年12期

5 顾聚兴;用红外探测器探测气体漏泄[J];红外;2002年11期

6 高;热红外探测器列阵及其制备方法[J];红外;2003年02期

7 高;热电红外探测器[J];红外;2003年10期

8 高;红外探测器列阵及其制作方法[J];红外;2005年10期

9 高;被动红外探测器[J];红外;2005年01期

10 高;可改善光谱范围的红外探测器列阵[J];红外;2005年04期

相关会议论文 前10条

1 翟厚明;陈永平;马斌;;非制冷红外探测器在航天领域中的应用[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）[C];2010年

2 郑晶;王祖林;赵毅寰;;被动式红外探测器多波段成像的仿真[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年

3 李颖文;杨长城;洪韬;程子清;;640×480非制冷红外探测器的测试[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

4 孙家龙;步云英;张玲;俞光华;谢礼丽;聂家琪;;红外探测器用蓝宝石窗口片研制[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年

5 黄宗坦;李家鹏;赵玉琼;黄伟;陈军;陈晓屏;;半导体制冷器在红外探测器中的应用及发展趋势[A];第九届全国低温工程大会论文集[C];2009年

6 王志强;李艳晓;孔繁峨;;红外探测器的仿真分析[A];第三届红外成像系统仿真、测试与评价技术研讨会论文集[C];2011年

7 葛成良;叶一东;陈天江;郑为民;巫兆龙;;激光对调制盘结构红外探测器的干扰[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

8 李兰;刘铮;邹德恕;沈光地;;新型室温工作微机械红外探测器[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年

9 刘安生;邵贝羚;安生;刘峥;王敬;;红外探测器中的异质界面和缺陷的研究[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年

10 程兴奎;周均铭;黄绮;王文新;;宽带量子阱红外探测器[A];第五届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];2001年

相关重要报纸文章 前7条

1 王小龙;新型量子点红外探测器灵敏度提高两倍[N];科技日报;2010年

2 四川 柳叶;浅谈红外探测器[N];电子报;2006年

3 本报记者 钱静华;汤定元：离开越久思乡越浓[N];常州日报;2010年

4 姚西蒙;加刊:歼-20战机有隐形障碍[N];国防时报;2011年

5 证券时报记者 冯尧;红外探测器量产将催生高德红外量变[N];证券时报;2013年

6 刘文东　李大光;末敏弹:信息化战场作战“精灵”[N];解放军报;2011年

7 刘鹏程　刘来平;“陆战之王”遭遇新克星[N];解放军报;2002年

相关博士学位论文 前10条

1 廖开升;硅基阻挡杂质带红外探测器研制及其光电特性研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年

2 梁健;基于人工光子微结构调控的HgCdTe中长波焦平面红外探测器的研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年

3 董珊;量子阱红外探测器高偏压下特性的研究[D];华中科技大学;2012年

4 徐峥谊;微机械热电堆红外探测器[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年

5 刘红梅;量子点红外探测器特性表征方法研究[D];西安电子科技大学;2012年

6 朱宪亮;红外探测器组件可靠性试验研究[D];中国科学院研究生院（上海技术物理研究所）;2014年

7 吕宇强;氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究[D];天津大学;2007年

8 刘希辉;基于子带跃迁量子结构红外探测器的研究[D];中国科学院研究生院（上海技术物理研究所）;2014年

9 王俊;碲镉汞红外探测器光电响应特性的机理研究[D];中国科学技术大学;2012年

10 张德银;热释电钽酸锂薄膜红外探测器原理和制备研究[D];电子科技大学;2008年

相关硕士学位论文 前10条

1 董欣;新型硅基红外探测器的研制[D];北京工业大学;2000年

2 廖颖;红外光电灭火弹敏感模块的研究[D];昆明理工大学;2015年

3 江敏;8.5um量子阱红外探测器的光学天线优化[D];南京理工大学;2015年

4 田迎;APD红外探测器结构与外延工艺研究[D];北京工业大学;2015年

5 王仙;基于真空探针台的红外探测器自动测试系统的研究[D];电子科技大学;2014年

6 王梓又;非制冷红外探测器光谱、串音、MTF测试技术研究[D];电子科技大学;2014年

7 王志琛;光导型及光伏型红外探测器多种技术参数检测系统[D];长春理工大学;2014年

8 陈晓勇;锆钛酸铅陶瓷红外探测器制备与性能研究[D];电子科技大学;2014年

9 罗盘政;红外探测器MTF的分析研究[D];西安电子科技大学;2015年

10 罗盘政;红外探测器MTF的分析研究[D];西安电子科技大学;2014年

，

本文编号：1504870